Проблемы микроэлектронной технологии: Сборник научных трудов/
| Соавтор: | |
|---|---|
| Другие авторы: | |
| Формат: | Книга |
| Публикация: |
М.:
Наука
1994
|
| Серии: | Труды ФТИАН;
Т. 4 |
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Объем: | 97[7] с.: a-ил |
|---|---|
| Библиография: | Библиогр. в конце ст. |
| ISBN: | 5020068683 |