Спектры ХПЭЭ поверхностных фаз на кремнии: Монография/

Библиографическая информация
Главные авторы:	Лифшиц, В. Г. Виктор Григорьевич (Автор), Луняков, Ю. В. Юрий Виловьевич (Автор)
Соавтор:	Институт автоматики и процессов управления21 Российская Академия наук Дальневосточное отделение
Формат:	Книга
Публикация:	Владивосток: Дальнаука 2004
Предметы:	кремний поверхности спектроскопия характеристические потери энергии электронами электронография
Online-ссылка:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Похожие документы