Яркин, В. Н. В. Н., Салли, И. В. И. В., Фалькевич, Э. С. Э. С., Пульнер, Э. О. Э. О., Червоный , И. Ф. И. Ф., & Шварцман, Л. Я. Л. Я. (1992). Технология полупроводникового кремния. Металлургия.
Chicago-стиль цитированияЯркин, В. Н. Владимир Николаевич, И. В. Илья Васильевич Салли, Э. С. Эдуард Семенович Фалькевич, Э. О. Эрунст Оскарович Пульнер, И. Ф. Иван Федорович Червоный , and Л. Я. Леонид Яковлевич Шварцман. Технология полупроводникового кремния. М.: Металлургия, 1992.
MLA-цитированиеЯркин, В. Н. Владимир Николаевич, et al. Технология полупроводникового кремния. Металлургия, 1992.
Предупреждение: эти цитирования не могут быть точны на 100%.
