Технология полупроводникового кремния/
| Главные авторы: | , , , , , |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Публикация: |
М.:
Металлургия
1992
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Объем: | 406[2] с.: a-ил |
|---|---|
| Библиография: | Библиогр.: с. 399-407 |
| ISBN: | 5229007400 |
