Технология полупроводникового кремния/

Библиографическая информация
Главные авторы: Яркин, В. Н. Владимир Николаевич (Автор), Салли, И. В. Илья Васильевич (Автор), Фалькевич, Э. С. Эдуард Семенович (Редактор), Пульнер, Э. О. Эрунст Оскарович (Автор), Червоный , И. Ф. Иван Федорович (Автор), Шварцман, Л. Я. Леонид Яковлевич (Автор)
Формат: Книга
Публикация: М.: Металлургия 1992
Предметы:
Online-ссылка:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
Описание
Объем:406[2] с.: a-ил
Библиография:Библиогр.: с. 399-407
ISBN:5229007400