LEADER 01687nam a2200277 i 4500
001 LibTUSUR0000032219
008 060815s1992 ru_aa l000 0yrus d
020 |a 5229007400 
040 |a Библиотека ТУСУР  |b rus 
245 0 0 |a Технология полупроводникового кремния/  |c Э. С. Фалькевич, Э. О. Пульнер, И. Ф. Червоный и др.; Ред. Э. С. Фалькевич 
260 |a М.:  |b Металлургия  |c 1992 
300 |a 406[2] с.:  |b a-ил 
504 |a Библиогр.: с. 399-407 
535 2 |a Библиотека ТУСУР  |d https://lib.tusur.ru 
653 0 |a полупроводниковый кремний 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.315  |i Т 384  |p 267792  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.315  |i Т 384  |p 267793  |b аунл 
080 |a 621.315.592.2:546.28.002.2 
700 1 |a Яркин, В. Н.  |q Владимир Николаевич  |4 aut 
700 1 |a Салли, И. В.  |q Илья Васильевич  |4 aut 
700 1 |a Фалькевич, Э. С.  |q Эдуард Семенович  |4 aut 
700 1 |a Пульнер, Э. О.  |q Эрунст Оскарович  |4 aut 
700 1 |a Червоный , И. Ф.  |q Иван Федорович  |4 aut 
700 1 |a Шварцман, Л. Я.  |q Леонид Яковлевич  |4 aut 
700 1 |a Фалькевич, Э. С.  |q Эдуард Семенович  |4 edt 
856 |y Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР  |u https://lib.tusur.ru/irbis-new/i64r_15/cgiirbis_64.exe?Z21ID=&P21DBN=LIB&I21DBN=LIB&S21FMT=fullwebr&C21COM=S&2_S21P02=0&2_S21P03=I=&2_S21STR=621.315/Т 384-272344