|
|
|
|
| LEADER |
01934nam a2200325 i 4500 |
| 001 |
LibTUSUR0000032941 |
| 008 |
060815s1988 ru_aa l000 0yrus d |
| 020 |
|
|
|a 5060014800
|
| 040 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|b rus
|
| 100 |
1 |
|
|a Попов, В. Ф.
|q Владимир Федорович
|4 aut
|
| 245 |
0 |
0 |
|a Процессы и установки электронно-ионной технологии:
|b учебное пособие для вузов/
|c В. Ф. Попов, Ю. Н. Горин
|
| 260 |
|
|
|a М.:
|b Высшая школа
|c 1988
|
| 300 |
|
|
|a 256 с.:
|b a-рис.
|
| 504 |
|
|
|a Библиогр.: с. 250-251. - Предм. указ.: с. 252-253
|
| 535 |
2 |
|
|a Библиотека ТУСУР
|d https://lib.tusur.ru
|
| 653 |
0 |
|
|a УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ
|
| 653 |
0 |
|
|a ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВАЯ ЛИТОГРАФИЯ
|
| 653 |
0 |
|
|a ЭЛЕКТРОННАЯ МИКРОСКОПИЯ
|
| 653 |
0 |
|
|a РАСПЫЛЕНИЕ МАТЕРИАЛОВ
|
| 653 |
0 |
|
|a ИОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ
|
| 653 |
0 |
|
|a МОЛЕКУЛЯРНО-ЛУЧЕВАЯ ЭПИТАКСИЯ
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.9
|i П 580
|p 244200
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.9
|i П 580
|p 244201
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.9
|i П 580
|p 248424
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.9
|i П 580
|p 257083
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.9
|i П 580
|p 262759
|b счз1
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.9
|i П 580
|p 460174
|b аунл
|
| 080 |
|
|
|a 621.9.048.7(075.8)
|a 621.359(075.8)
|
| 700 |
1 |
|
|a Горин, Ю. Н.
|q Юрий Николаевич
|4 aut
|
| 856 |
|
|
|y Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
|u https://lib.tusur.ru/irbis-new/i64r_15/cgiirbis_64.exe?Z21ID=&P21DBN=LIB&I21DBN=LIB&S21FMT=fullwebr&C21COM=S&2_S21P02=0&2_S21P03=I=&2_S21STR=621.9/П 580-662326559
|
