Процессы и установки электронно-ионной технологии: учебное пособие для вузов/

Bibliographic Details
Main Authors:	Попов, В. Ф. Владимир Федорович (Author), Горин, Ю. Н. Юрий Николаевич (Author)
Format:	Book
Published:	М.: Высшая школа 1988
Subjects:	УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВАЯ ЛИТОГРАФИЯ ЭЛЕКТРОННАЯ МИКРОСКОПИЯ РАСПЫЛЕНИЕ МАТЕРИАЛОВ ИОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ МОЛЕКУЛЯРНО-ЛУЧЕВАЯ ЭПИТАКСИЯ
Online Access:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Similar Items