Процессы и установки электронно-ионной технологии: учебное пособие для вузов/
| Main Authors: | Попов, В. Ф. Владимир Федорович (Author), Горин, Ю. Н. Юрий Николаевич (Author) |
|---|---|
| Format: | Book |
| Published: |
М.:
Высшая школа
1988
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
Similar Items
-
Оборудование для создания и исследования свойств объектов наноэлектроники: учебное пособие/
by: Данилина, Т. И. Тамара Ивановна, et al.
Published: (2011) -
Основы технологии сверхбольших интегральных схем: Пер. с яп./
by: Таруи, Я. Ясуо
Published: (1985) -
Методы нанолитографии достижения и перспективы
Published: (2008) -
Технология СБИС в 2 кн.
Published: (1986) -
Нанотехнологии в полупроводниковой электронике
Published: (2007)
