Плазменное анодирование: Физика, техника, применение в микроэлектронике: научное издание/
| Главные авторы: | , |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Публикация: |
Минск:
Навука i тэхнiка
1990
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Объем: | 279[1] с.: a-ил. |
|---|---|
| Библиография: | Библиогр.: с. 252-276 |
| ISBN: | 5343005225 |