|
|
|
|
| LEADER |
01531nam a2200277 i 4500 |
| 001 |
LibTUSUR0000033435 |
| 008 |
060815s1990 ru_a l000 0yrus d |
| 020 |
|
|
|a 5343005225
|
| 040 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|b rus
|
| 100 |
1 |
|
|a Пархутин, В. П.
|q Виталий Петрович
|4 aut
|
| 245 |
0 |
0 |
|a Плазменное анодирование: Физика, техника, применение в микроэлектронике:
|b научное издание/
|c В. П. Пархутин, В. А. Лабунов
|
| 260 |
|
|
|a Минск:
|b Навука i тэхнiка
|c 1990
|
| 300 |
|
|
|a 279[1] с.:
|b a-ил.
|
| 504 |
|
|
|a Библиогр.: с. 252-276
|
| 535 |
2 |
|
|a Библиотека ТУСУР
|d https://lib.tusur.ru
|
| 653 |
0 |
|
|a плазменное анодирование
|
| 653 |
0 |
|
|a анодирование
|
| 653 |
0 |
|
|a физика
|
| 653 |
0 |
|
|a техника
|
| 653 |
0 |
|
|a микроэлектроника
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.7
|i П 189
|p 259019
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.7
|i П 189
|p 259020
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.7
|i П 189
|p 259021
|b аунл
|
| 080 |
|
|
|a 621.794.61
|
| 700 |
1 |
|
|a Лабунов, В. А.
|q Владимир Архипович
|4 aut
|
| 856 |
|
|
|y Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
|u https://lib.tusur.ru/irbis-new/i64r_15/cgiirbis_64.exe?Z21ID=&P21DBN=LIB&I21DBN=LIB&S21FMT=fullwebr&C21COM=S&2_S21P02=0&2_S21P03=I=&2_S21STR=621.7/П 189-589360
|
