Диэлектрические пленки в микроэлектронике: научное издание/

Диэлектрические пленки в микроэлектронике: научное издание/

Bibliographic Details
Main Authors: Корзо, В. Ф. Виктор Федорович (Author), Черняев, В. Н. Владимир Николаевич (Author)
Format: Book
Published: М.: Энергия 1977
Series:Электронное материаловедение
Subjects:
микроэлектроника
диэлектрические пленки
пленочные диэлектрики
электронное материаловедение
Online Access:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
Description
Physical Description:366[2] с.: a-ил.
Bibliography:Библиогр.: с. 344-365

Similar Items