|
|
|
|
| LEADER |
01812nam a2200301 i 4500 |
| 001 |
LibTUSUR0000035107 |
| 008 |
060815u1977 ru_aa l000 0yrus d |
| 040 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|b rus
|
| 100 |
1 |
|
|a Корзо, В. Ф.
|q Виктор Федорович
|4 aut
|
| 245 |
0 |
0 |
|a Диэлектрические пленки в микроэлектронике:
|b научное издание/
|c В. Ф. Корзо, В. Н. Черняев
|
| 260 |
|
|
|a М.:
|b Энергия
|c 1977
|
| 300 |
|
|
|a 366[2] с.:
|b a-ил.
|
| 440 |
|
0 |
|a Электронное материаловедение
|
| 504 |
|
|
|a Библиогр.: с. 344-365
|
| 535 |
2 |
|
|a Библиотека ТУСУР
|d https://lib.tusur.ru
|
| 653 |
0 |
|
|a микроэлектроника
|
| 653 |
0 |
|
|a диэлектрические пленки
|
| 653 |
0 |
|
|a пленочные диэлектрики
|
| 653 |
0 |
|
|a электронное материаловедение
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.315
|i К 666
|p 1594.77-1
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.315
|i К 666
|p 1594.77
|b счз1
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.315
|i К 666
|p 1594.77
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.315
|i К 666
|p 1594.77
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.315
|i К 666
|p 1594.77
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.315
|i К 666
|p 1594.77
|b аунл
|
| 080 |
|
|
|a 621.315.61:621.382-181.48
|a 621.382.049.77
|
| 700 |
1 |
|
|a Черняев, В. Н.
|q Владимир Николаевич
|4 aut
|
| 856 |
|
|
|y Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
|u https://lib.tusur.ru/irbis-new/i64r_15/cgiirbis_64.exe?Z21ID=&P21DBN=LIB&I21DBN=LIB&S21FMT=fullwebr&C21COM=S&2_S21P02=0&2_S21P03=I=&2_S21STR=621.315/К 666-613978
|
