Диэлектрические пленки в микроэлектронике: научное издание/

Библиографическая информация
Главные авторы:	Корзо, В. Ф. Виктор Федорович (Автор), Черняев, В. Н. Владимир Николаевич (Автор)
Формат:	Книга
Публикация:	М.: Энергия 1977
Серии:	Электронное материаловедение
Предметы:	микроэлектроника диэлектрические пленки пленочные диэлектрики электронное материаловедение
Online-ссылка:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Похожие документы