Диэлектрические пленки в микроэлектронике: научное издание/

Bibliographic Details
Main Authors:	Корзо, В. Ф. Виктор Федорович (Author), Черняев, В. Н. Владимир Николаевич (Author)
Format:	Book
Published:	М.: Энергия 1977
Series:	Электронное материаловедение
Subjects:	микроэлектроника диэлектрические пленки пленочные диэлектрики электронное материаловедение
Online Access:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Similar Items