Вакуумное нанесение тонких пленок/

Библиографическая информация
Главный автор: Данилин, Б. С. Борис Степанович (Автор)
Другие авторы: Нилендер, Р. А. (Редактор)
Формат: Книга
Публикация: М.: Энергия 1967
Предметы:
Online-ссылка:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
Описание
Объем:311[1] с.: a-ил.
Библиография:Библиогр.: с. 304-311