Вакуумное нанесение тонких пленок/
| Главный автор: | Данилин, Б. С. Борис Степанович (Автор) |
|---|---|
| Другие авторы: | Нилендер, Р. А. (Редактор) |
| Формат: | Книга |
| Публикация: |
М.:
Энергия
1967
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
Похожие документы
-
Физика и технология тонких пленок учебное пособие : [для студентов высших учебных заведений, обучающихся по специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника"]
по: Аверин, Игорь Александрович
Публикация: (2009) -
Вакуумное оборудование для нанесения тонких пленок: справочное издание/
по: Блинов, И. Г. Иван Григорьевич, et al.
Публикация: (1969) -
Формирование наноразмерных T-образных затворов с использованием метода направленного углового напыления тонких пленок алюминия
по: Кулинич, Иван Владимирович - Влияние добавок Pt, Pd, Au на поверхности и в объеме тонких пленок диоксида олова на электрические и газочувствительные свойства
-
Структурные свойства тонких пленок GaAs1−yNy, полученных методом импульсного лазерного напыления
по: Девицкий, Олег Васильевич
