Катодное распыление: монография/
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
М.:
Атомиздат
1968
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Physical Description: | 343[1] с.: a-рис. |
|---|---|
| Bibliography: | Библиогр.: с. 297-334. - Предм. указ.: с. 335-341 |