Данилин, Б. С. Б. С. (1989). Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок. Энергоатомиздат.
Chicago Style (17th ed.) CitationДанилин, Б. С. Борис Степанович. Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок. М.: Энергоатомиздат, 1989.
MLA (8th ed.) CitationДанилин, Б. С. Борис Степанович. Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок. Энергоатомиздат, 1989.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.
