Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок/
| Главный автор: | |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Публикация: |
М.:
Энергоатомиздат
1989
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Объем: | 328 с.: a-ил. |
|---|---|
| Библиография: | Библиогр.: с. 316-324 |
| ISBN: | 5283039390 |