|
|
|
|
| LEADER |
01264nam a2200241 i 4500 |
| 001 |
LibTUSUR0000036905 |
| 008 |
060815s1989 ru_aa l000 0yrus d |
| 020 |
|
|
|a 5283039390
|
| 040 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|b rus
|
| 100 |
1 |
|
|a Данилин, Б. С.
|q Борис Степанович
|4 aut
|
| 245 |
0 |
0 |
|a Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок/
|c Б. С. Данилин
|
| 260 |
|
|
|a М.:
|b Энергоатомиздат
|c 1989
|
| 300 |
|
|
|a 328 с.:
|b a-ил.
|
| 504 |
|
|
|a Библиогр.: с. 316-324
|
| 535 |
2 |
|
|a Библиотека ТУСУР
|d https://lib.tusur.ru
|
| 653 |
0 |
|
|a плазма
|
| 653 |
0 |
|
|a низкотемпературная плазма
|
| 653 |
0 |
|
|a тонкие пленки
|
| 653 |
0 |
|
|a нанесение тонких пленок
|
| 653 |
0 |
|
|a интегральные схемы
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 533
|i Д 182
|p 268665
|b аунл
|
| 080 |
|
|
|a 533.915:621.793
|a 621.793:533.915
|
| 856 |
|
|
|y Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
|u https://lib.tusur.ru/irbis-new/i64r_15/cgiirbis_64.exe?Z21ID=&P21DBN=LIB&I21DBN=LIB&S21FMT=fullwebr&C21COM=S&2_S21P02=0&2_S21P03=I=&2_S21STR=533/Д 182-354279
|
