Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок/

Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок/

Библиографическая информация
Главный автор:	Данилин, Б. С. Борис Степанович (Автор)
Формат:	Книга
Публикация:	М.: Энергоатомиздат 1989
Предметы:	плазма низкотемпературная плазма тонкие пленки нанесение тонких пленок интегральные схемы
Online-ссылка:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Похожие документы

Вакуумное оборудование для нанесения тонких пленок: справочное издание/
по: Блинов, И. Г. Иван Григорьевич, et al.
Публикация: (1969)

Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением
по: Берлин, Евгений Владимирович
Публикация: (2014)

Микроструктурирование тонких пленок
Публикация: (1991)

Поверхностные свойства тонких пленок из поликапролактона после плазменной модификации
по: Филиппова, Екатерина Олеговна

Вакуумное нанесение пленок в квазизамкнутом объекте: научное издание/
по: Бубнов, Ю. З., et al.
Публикация: (1975)

Исследование индукционного разряда низкого давления как активной среды в технологии получения тонких пленок.Спец.05.12.10-Вакуумная и газоразрядная электроника, включая материалы, технологию и спец.оборудование: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. На правах рукописи/
по: Беркин, А. Б. Александр Борисович
Публикация: (1982)

Физика металлических пленок размерные и структурные эффекты
по: Комник, Юрий Федорович
Публикация: (1979)

Синтез тонкопленочных материалов и изучение их свойств учебно-методическое пособие : [для студентов IV и V курсов химического факультета (направление подготовки 04.04.01, 04.03.01 - Химия, профили подготовки - Химия твердого тела и химия материалов)
Публикация: (2014)

Проблемы микроэлектронной технологии: сборник научных трудов/
Публикация: (1994)

Энциклопедия низкотемпературной плазмы/ энциклопедия/
Публикация: (2005)

Энциклопедия низкотемпературной плазмы: Энциклопедическая серия/
по: Климонтович, Ю. Л.
Публикация: (2001)

Исследование зависимости заселенностей метастабильных состояний атомов аргона от условий возбуждения высокочастотного тлеющего разряда

Энциклопедия низкотемпературной плазмы/
Публикация: (2005)

Энциклопедия низкотемпературной плазмы: Энциклопедический словарь: В 5 т./
Публикация: (2004)

Свойства пленок ZnO:Al, ZnO:Al-Sio2, полученных золь-гель-методом из пленкообразующих растворов
по: Кузнецова, Светлана Анатольевна химик

Физика и технология тонких пленок учебное пособие : [для студентов высших учебных заведений, обучающихся по специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника"]
по: Аверин, Игорь Александрович
Публикация: (2009)

Тонкие неорганические пленки в микроэлектронике
Публикация: (1972)

Оптико-эмиссионная спектроскопия аргон-силановой плазмы
по: Струнин, Владимир Иванович

Получение дисперсных и тонкопленочных материалов на основе оксидов титана, кремния и хрома
по: Рогачева, Анастасия Олеговна

Термическое испарение в вакууме при производстве изделий радиоэлектроники: производственно-практическое издание/
по: Кондратов, А. В. Альберт Владимирович, et al.
Публикация: (1986)

Тонкопленочные неорганические наносистемы
по: Борило, Людмила Павловна
Публикация: (2012)

Технологическое применение низкотемпературной плазмы
Публикация: (1983)

Основы физики низкотемпературной плазмы: Методическое пособие для студ. вузов/
по: Окс, Е. М. Ефим Михайлович
Публикация: (1997)

Импульсное осаждение полупроводниковых плёнок GaAs и InP из абляционной плазмы, формируемой мощным ионным пучком: Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. 01.04.07/
по: Салтымаков, М. С. Максим Сергеевич
Публикация: (2010)

Физика, техника и применение низкотемпературной плазмы (труды IV Всесоюзной конференции по физике и генераторам низкотемпенратурной плазмы)
Публикация: (1970)

Generation of low-temperature plasma by low-pressure arcs for synthesis of nitride coatings

Физика низкотемпературной плазмы Материалы VIII всесоюз. конф.
Публикация: (1991)

Физика низкотемпературной плазмы Материалы VIII всесоюз. конф.
Публикация: (1991)

Физика низкотемпературной плазмы Материалы VIII всесоюз. конф.
Публикация: (1991)

Химическое состояние и атомная структура поверхности г. ц. к. металлов в реакции взаимодействия с галогенами
Публикация: (2003)

Кинетика неравновесной низкотемпературной плазмы
по: Биберман, Леон Михайлович
Публикация: (1982)

Применение низкотемпературной плазмы в химии [Сб. статей]
Публикация: (1981)

Electrochemical synthesis and characterization of CeO2-Gd2O3 thin films
по: Khalipova, Olga S.

Исследование характеристик источника низкотемпературной плазмы на основе пьезотрансформатора

Воздействие низкотемпературной плазмы барьерного разряда на элементный состав поверхности полилактида

Влияние промоторов на газочувствительность тонких полупроводниковых пленок
по: Угрюмов, Р. Б.

Основы физики процессов в устройствах с низкотемпературной плазмой: научное издание/
по: Недоспасов, А. В. Артур Владимирович, et al.
Публикация: (1991)

Очерки физики и химии низкотемпературной плазмы/
по: Кулик, П. П., et al.
Публикация: (1971)

Основы микроэлектроники: учебное пособие для вузов/
по: Степаненко, И. П. Игорь Павлович
Публикация: (2004)

Физика плазмы журнал
Публикация: (1975)