Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок/

Библиографическая информация
Главный автор: Данилин, Б. С. Борис Степанович (Автор)
Формат: Книга
Публикация: М.: Энергоатомиздат 1989
Предметы:
Online-ссылка:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР