Ионное легирование полупроводников/

Библиографическая информация
Главные авторы: Зорин, Е. И. Евгений Иванович (Автор), Павлов, П. В. Павел Васильевич (Автор), Тетельбаум, Д. И. Давид Исаакович (Автор)
Формат: Книга
Публикация: М.: Энергия 1975
Серии:Библиотека радиотехнолога; Вып. 6
Предметы:
Online-ссылка:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
LEADER 01429nam a2200253 i 4500
001 LibTUSUR0000037226
008 060928u1975 ru_aa l000 0yrus d
040 |a Библиотека ТУСУР  |b rus 
100 1 |a Зорин, Е. И.  |q Евгений Иванович  |4 aut 
245 0 0 |a Ионное легирование полупроводников/  |c Е. И. Зорин, П. В. Павлов, Д. И. Тетельбаум 
260 |a М.:  |b Энергия  |c 1975 
300 |a 127[2] с.:  |b a-ил. 
440 0 |a Библиотека радиотехнолога;   |v Вып. 6 
504 |a Библиогр.: с. 120-128 
535 2 |a Библиотека ТУСУР  |d https://lib.tusur.ru 
653 0 |a полупроводники 
653 0 |a ионное легирование 
653 0 |a физические основы 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 539.2  |i З-862  |p 154535  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 539.2  |i З-862  |p 154536  |b аунл 
080 |a 621.315.592.002  |a 621.382.3.002 
700 1 |a Павлов, П. В.  |q Павел Васильевич  |4 aut 
700 1 |a Тетельбаум, Д. И.  |q Давид Исаакович  |4 aut 
856 |y Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР  |u https://lib.tusur.ru/irbis-new/i64r_15/cgiirbis_64.exe?Z21ID=&P21DBN=LIB&I21DBN=LIB&S21FMT=fullwebr&C21COM=S&2_S21P02=0&2_S21P03=I=&2_S21STR=539.2/З-862-409054