Дефекты структуры в ионно-имплантированном кремнии/
| Главные авторы: | , , , |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Публикация: |
Минск:
Университетское
1990
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Объем: | 318[2] с.: a-ил. |
|---|---|
| Библиография: | Библиогр.: с. 293-318 |
| ISBN: | 5785501929 |