Эллипсометрия: теория, методы, приложения: Сборник научных трудов/

Библиографическая информация
Главные авторы:	Витлина, Р. З. (Автор), Дыхне, А. М. (Автор), Пшеницин, В. И. (Автор), Храмцовский, И. А. (Автор), Рожнов, Г. В. (Автор)
Соавтор:	Академия наук СССР Сибирское отделение21 Институт физики полупроводников
Другие авторы:	Свиташев, К. К. (Редактор), Мардежов, А. С. (Редактор)
Формат:	Книга
Публикация:	Новосибирск: Наука 1991
Предметы:	эллипсометрия микроэлектроника физическая химия оптические явления
Online-ссылка:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Похожие документы