Эллипсометрия: теория, методы, приложения: Сборник научных трудов/

Bibliographic Details
Main Authors:	Витлина, Р. З. (Author), Дыхне, А. М. (Author), Пшеницин, В. И. (Author), Храмцовский, И. А. (Author), Рожнов, Г. В. (Author)
Corporate Author:	Академия наук СССР Сибирское отделение21 Институт физики полупроводников
Other Authors:	Свиташев, К. К. (Editor), Мардежов, А. С. (Editor)
Format:	Book
Published:	Новосибирск: Наука 1991
Subjects:	эллипсометрия микроэлектроника физическая химия оптические явления
Online Access:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Similar Items