Технология ионного легирования: Пер. с яп./

Библиографическая информация
Другие авторы: Намба, С. (Редактор), Овчаров, В. Ф. (Переводчик), Павлов, П. В. (Переводчик)
Формат: Книга
Публикация: М.: Советское радио 1974
Предметы:
Online-ссылка:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
LEADER 01313nam a2200241 i 4500
001 LibTUSUR0000039326
008 070803s1974 ru_aa l000 0yrus d
040 |a Библиотека ТУСУР  |b rus 
245 0 0 |a Технология ионного легирования:   |b Пер. с яп./  |c ред. : С. Намба ; пер. : В. Ф. Овчаров ; ред. пер. : П. В. Павлов 
260 |a М.:  |b Советское радио  |c 1974 
300 |a 157[3] с.:  |b a-рис. 
504 |a Библиогр.: с. 140-156 
535 2 |a Библиотека ТУСУР  |d https://lib.tusur.ru 
653 0 |a легирование 
653 0 |a ионное легирование 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 539.2  |i Т 384  |p 147172  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 539.2  |i Т 384  |p 147173  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 539.2  |i Т 384  |p 191065  |b аунл 
080 |a 539.2  |a 621.315.592 
700 1 |a Намба, С.  |4 edt 
700 1 |a Овчаров, В. Ф.  |4 trl 
700 1 |a Павлов, П. В.  |4 trl 
856 |y Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР  |u https://lib.tusur.ru/irbis-new/i64r_15/cgiirbis_64.exe?Z21ID=&P21DBN=LIB&I21DBN=LIB&S21FMT=fullwebr&C21COM=S&2_S21P02=0&2_S21P03=I=&2_S21STR=539.2/Т 384-573997