Легирование полупроводников ионным внедрением: Сборник статей: перевод/
| Other Authors: | , |
|---|---|
| Format: | Book |
| Published: |
М.:
Мир
1971
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Physical Description: | 531[1] с.: а-ил. |
|---|---|
| Bibliography: | Библиогр. в конце разд. |