Легирование полупроводников ионным внедрением: Сборник статей: перевод/
| Другие авторы: | , |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Публикация: |
М.:
Мир
1971
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Объем: | 531[1] с.: а-ил. |
|---|---|
| Библиография: | Библиогр. в конце разд. |