Смирнова, К. И. К. И. (2006). Процессы микро- и нано-технологии: учебно-методическое пособие по выполнению курсового проекта для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника". ТУСУР.
Chicago-стиль цитированияСмирнова, К. И. Клара Ивановна. Процессы микро- и нано-технологии: учебно-методическое пособие по выполнению курсового проекта для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника". Томск: ТУСУР, 2006.
MLA-цитированиеСмирнова, К. И. Клара Ивановна. Процессы микро- и нано-технологии: учебно-методическое пособие по выполнению курсового проекта для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника". ТУСУР, 2006.
Предупреждение: эти цитирования не могут быть точны на 100%.