Процессы микро- и нано-технологии: учебно-методическое пособие по выполнению курсового проекта для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника"/

Bibliographic Details
Main Author:	Смирнова, К. И. Клара Ивановна (Author)
Corporate Author:	Федеральное агентство по образованию21 Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники(Томск) Кафедра физической электроники
Format:	Book
Published:	Томск: ТУСУР 2006
Subjects:	учебные пособия микротехнологии нанотехнологии методические пособия курсовые работы
Online Access:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Description
Physical Description:	21 с.: a-ил.
Bibliography:	Библиогр.: с. 13

Similar Items