|
|
|
|
| LEADER |
04466nam a2200589 i 4500 |
| 001 |
LibTUSUR0000040881 |
| 008 |
081021s2006 ru_a l000 0yrus d |
| 040 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|b rus
|
| 100 |
1 |
|
|a Смирнова, К. И.
|q Клара Ивановна
|4 aut
|
| 245 |
0 |
0 |
|a Процессы микро- и нано-технологии:
|b учебно-методическое пособие по выполнению курсового проекта для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника"/
|c К. И. Смирнова; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (Томск), Кафедра физической электроники
|
| 260 |
|
|
|a Томск:
|b ТУСУР
|c 2006
|
| 300 |
|
|
|a 21 с.:
|b a-ил.
|
| 504 |
|
|
|a Библиогр.: с. 13
|
| 535 |
2 |
|
|a Библиотека ТУСУР
|d https://lib.tusur.ru
|
| 653 |
0 |
|
|a учебные пособия
|
| 653 |
0 |
|
|a микротехнологии
|
| 653 |
0 |
|
|a нанотехнологии
|
| 653 |
0 |
|
|a методические пособия
|
| 653 |
0 |
|
|a курсовые работы
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С 506
|p 396135
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С 506
|p 396136
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С 506
|p 396137
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С 506
|p 396138
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С 506
|p 396139
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С 506
|p 396140
|b счз1
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С 506
|p 396141
|b счз1
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С 506
|p 396142
|b счз1
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С 506
|p 396143
|b счз1
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С 506
|p 396144
|b счз1
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С 506
|p 396146
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С 506
|p 396147
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С 506
|p 396148
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С 506
|p 396149
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С 506
|p 396150
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С 506
|p 396151
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С 506
|p 396152
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С 506
|p 396153
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С 506
|p 396154
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С 506
|p 396155
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С 506
|p 396156
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С 506
|p 396157
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С 506
|p 396158
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С 506
|p 396159
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С 506
|p 396160
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С 506
|p 396161
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С 506
|p 396162
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С 506
|p 396163
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С 506
|p 396164
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С 506
|p 396145
|b аунл
|
| 080 |
|
|
|a 621.382.049.77.002:378.147.85(075.8)
|a 62-181.48:378.147.85(075.8)
|a 378.147.85(075.8)
|
| 710 |
2 |
1 |
|a Федеральное агентство по образованию21
|a Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники(Томск)
|b Кафедра физической электроники
|
| 856 |
|
|
|y Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
|u https://lib.tusur.ru/irbis-new/i64r_15/cgiirbis_64.exe?Z21ID=&P21DBN=LIB&I21DBN=LIB&S21FMT=fullwebr&C21COM=S&2_S21P02=0&2_S21P03=I=&2_S21STR=621.382/С 506-225449
|
