Процессы микро- и нано-технологии: учебно-методическое пособие по выполнению курсового проекта для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника"/
| Главный автор: | |
|---|---|
| Соавтор: | |
| Формат: | Книга |
| Публикация: |
Томск:
ТУСУР
2006
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
