Процессы микро- и нано-технологии: учебно-методическое пособие по выполнению курсового проекта для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника"/

Библиографическая информация
Главный автор: Смирнова, К. И. Клара Ивановна (Автор)
Соавтор: Федеральное агентство по образованию21 Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники(Томск) Кафедра физической электроники
Формат: Книга
Публикация: Томск: ТУСУР 2006
Предметы:
Online-ссылка:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР