Процессы микро- и нано-технологии: учебно-методическое пособие по выполнению курсового проекта для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника"/
| Главный автор: | Смирнова, К. И. Клара Ивановна (Автор) |
|---|---|
| Соавтор: | Федеральное агентство по образованию21 Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники(Томск) Кафедра физической электроники |
| Формат: | Книга |
| Публикация: |
Томск:
ТУСУР
2006
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
Похожие документы
-
Процессы микро- и нанотехнологии: Учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника"/
по: Смирнова, К. И. Клара Ивановна
Публикация: (2007) -
Процессы микро- и нанотехнологии: Учебное пособие/
по: Смирнова, К. И. Клара Ивановна
Публикация: (2007) -
Тонкие пленки в микроэлектронике: Учебно-методическое пособие по выполнению курсового проекта для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника" дистанционной и дневной форм обучения/
по: Смирнова, К. И. Клара Ивановна
Публикация: (2008) -
Тонкие плёнки в микроэлектронике: (Физика твёрдого тела): Учебно-методическое пособие по выполнению курсового проекта для студентов специальности 200100 "Микроэлектроника и твердотельная электроника" дистанционной и дневной форм обучения/
по: Смирнова, К. И. Клара Ивановна
Публикация: (2003) -
Материалы и элементы электронной техники: Учебно-методическое пособие по выполнению курсового проекта для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника"/
по: Битнер, Л. Р., et al.
Публикация: (2006)
