|
|
|
|
| LEADER |
05814nam a2200817 i 4500 |
| 001 |
LibTUSUR0000040882 |
| 008 |
091208s2007 ru_aa l000 0yrus d |
| 040 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|b rus
|
| 100 |
1 |
|
|a Смирнова, К. И.
|q Клара Ивановна
|4 aut
|
| 245 |
0 |
0 |
|a Процессы микро- и нанотехнологии:
|b Учебное пособие/
|c К. И. Смирнова; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Кафедра физической электроники
|
| 260 |
|
|
|a Томск:
|b ТУСУР
|c 2007
|
| 300 |
|
|
|a 183 с.:
|b a-ил.
|
| 504 |
|
|
|a Библиогр.: с. 183
|
| 535 |
2 |
|
|a Библиотека ТУСУР
|d https://lib.tusur.ru
|
| 653 |
0 |
|
|a учебные пособия
|
| 653 |
0 |
|
|a микротехнологии
|
| 653 |
0 |
|
|a нанотехнологии
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С 506
|p 396165
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С 506
|p 396166
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С 506
|p 396167
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С 506
|p 396168
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С 506
|p 396169
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С 506
|p 396170
|b счз1
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С 506
|p 396171
|b счз1
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С 506
|p 396172
|b счз1
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С 506
|p 396173
|b счз1
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С 506
|p 396174
|b счз1
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С 506
|p 396175
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С 506
|p 396176
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С 506
|p 396177
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С 506
|p 396178
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С 506
|p 396179
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С 506
|p 396180
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С 506
|p 396182
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С 506
|p 396183
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С 506
|p 396184
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С 506
|p 396185
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С 506
|p 396186
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С 506
|p 396187
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С 506
|p 396188
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С 506
|p 396189
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С 506
|p 396190
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С 506
|p 396191
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С 506
|p 396192
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С 506
|p 396193
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С 506
|p 396194
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С 506
|p 396196
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С 506
|p 396197
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С 506
|p 396198
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С 506
|p 396200
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С 506
|p 396201
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С 506
|p 396202
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С 506
|p 396203
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С 506
|p 396204
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С 506
|p 396205
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С 506
|p 396206
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С 506
|p 396207
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С 506
|p 396208
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С 506
|p 396209
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С 506
|p 396210
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С 506
|p 396211
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С 506
|p 396212
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С 506
|p 396213
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С 506
|p 396214
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С 506
|p 413723
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С 506
|p 396181
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С 506
|p 396195
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С 506
|p 396199
|b аунл
|
| 080 |
|
|
|a 621.382.049.77.002(075.8)
|a 62-181.48(075.8)
|
| 710 |
2 |
1 |
|a Федеральное агентство по образованию21
|a Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники21
|a Кафедра физической электроники
|
| 856 |
|
|
|y Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
|u https://lib.tusur.ru/irbis-new/i64r_15/cgiirbis_64.exe?Z21ID=&P21DBN=LIB&I21DBN=LIB&S21FMT=fullwebr&C21COM=S&2_S21P02=0&2_S21P03=I=&2_S21STR=621.382/С 506-582532
|
