LEADER 02510nam a2200385 i 4500
001 LibTUSUR0000041000
008 081119s2006 ru_aa l000 0yrus d
040 |a Библиотека ТУСУР  |b rus 
100 1 |a Жигальский, А. А.  |q Александр Анатольевич  |4 aut 
245 0 0 |a Технология материалов электронной техники:   |b Учебно-методическое пособие для самостоятельной работы студентов/  |c А. А. Жигальский; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Кафедра физической электроники 
260 |a Томск:  |b ТУСУР  |c 2006 
300 |a 49 с.:  |b a-ил. 
504 |a Библиогр.: с. 39 
535 2 |a Библиотека ТУСУР  |d https://lib.tusur.ru 
653 0 |a учебные пособия 
653 0 |a методические пособия 
653 0 |a самостоятельные работы 
653 0 |a материалы 
653 0 |a электронная техника 
653 0 |a твердые тела 
653 0 |a тепловые процессы 
653 0 |a диффузия 
653 0 |a газовая динамика 
653 0 |a химическая кинетика 
653 0 |a адсорбция 
653 0 |a жидкостная экстракция 
653 0 |a эпитаксия кремния 
653 0 |a перегонка 
653 0 |a кристаллизация 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.315  |i Ж 681  |p 393941  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.315  |i Ж 681  |p 393942  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.315  |i Ж 681  |p 393943  |b аунл 
080 |a 621.315.5/61(076) 
710 2 1 |a Федеральное агентство по образованию21  |a Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники21  |a Кафедра физической электроники 
856 |y Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР  |u https://lib.tusur.ru/irbis-new/i64r_15/cgiirbis_64.exe?Z21ID=&P21DBN=LIB&I21DBN=LIB&S21FMT=fullwebr&C21COM=S&2_S21P02=0&2_S21P03=I=&2_S21STR=621.315/Ж 681-779890