Вакуумная техника: Методические указания по выполнению лабораторных работ для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника"/

Bibliographic Details
Main Authors:	Данилина, Т. И. Тамара Ивановна (Author), Макрушин, А. С. (Author)
Corporate Author:	Федеральное агентство по образованию21 Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники21 Кафедра физической электроники
Format:	Book
Published:	Томск 2007
Subjects:	учебные пособия вакуумная техника вакуумные насосы вакуум давление газы методические пособия лабораторные работы
Online Access:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Description
Physical Description:	41 с.: a-ил.
Bibliography:	Библиогр.: с. 30

Similar Items