Вакуумная техника: Методические указания по выполнению лабораторных работ для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника"/

Библиографическая информация
Главные авторы:	Данилина, Т. И. Тамара Ивановна (Автор), Макрушин, А. С. (Автор)
Соавтор:	Федеральное агентство по образованию21 Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники21 Кафедра физической электроники
Формат:	Книга
Публикация:	Томск 2007
Предметы:	учебные пособия вакуумная техника вакуумные насосы вакуум давление газы методические пособия лабораторные работы
Online-ссылка:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Похожие документы