Импульсное осаждение полупроводниковых плёнок GaAs и InP из абляционной плазмы, формируемой мощным ионным пучком: Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. 01.04.07/

Bibliographic Details
Main Author:	Салтымаков, М. С. Максим Сергеевич (Author)
Corporate Author:	Томский политехнический университет
Other Authors:	Ремнев, Г. Е. Геннадий Ефимович
Format:	Book
Published:	Томск 2010
Subjects:	авторефераты тонкие пленки полупроводниковые пленки GaAs InP плазма абляционная плазма импульсные ионные ускорители частотно-импульсное воздействие ускорители заряженных частиц ионные пучки пучки частиц осаждение пленок
Online Access:	https://viewer.rsl.ru/ru/rsl01003492279?page=1&rotate=0&theme=white Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Description
Physical Description:	18 с.: a-ил.
Bibliography:	Библиогр.: с. 17-18

Similar Items