Импульсное осаждение полупроводниковых плёнок GaAs и InP из абляционной плазмы, формируемой мощным ионным пучком: Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. 01.04.07/

Библиографическая информация
Главный автор: Салтымаков, М. С. Максим Сергеевич (Автор)
Соавтор: Томский политехнический университет
Другие авторы: Ремнев, Г. Е. Геннадий Ефимович
Формат: Книга
Публикация: Томск 2010
Предметы:
InP
Online-ссылка:https://viewer.rsl.ru/ru/rsl01003492279?page=1&rotate=0&theme=white
Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
Описание
Объем:18 с.: a-ил.
Библиография:Библиогр.: с. 17-18