Оптические свойства наноразмерных стекловидных пленок оксидов кремния и тантала: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. 01.04.04/

Оптические свойства наноразмерных стекловидных пленок оксидов кремния и тантала: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. 01.04.04/

Bibliographic Details
Main Author: Литвинова, В. А. Виктория Александровна (Author)
Corporate Author: Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
Other Authors: Смирнов, С. В. Серафим Всеволодович
Format: Book
Published: Томск 2010
Subjects:
авторефераты
тонкие пленки
оксиды кремния
тантал
стекловидные пленки
наноструктуры
оптические свойства
производство
контроль качества
Online Access:https://viewer.rsl.ru/ru/rsl01004616649?page=1&rotate=0&theme=white
Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
Description
Physical Description:16 с.: a-ил.
Bibliography:Библиогр.: с. 15-16

Similar Items