Оптические свойства наноразмерных стекловидных пленок оксидов кремния и тантала: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. 01.04.04/

Оптические свойства наноразмерных стекловидных пленок оксидов кремния и тантала: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. 01.04.04/

Bibliographic Details
Main Author: Литвинова, В. А. Виктория Александровна (Author)
Corporate Author: Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
Other Authors: Смирнов, С. В. Серафим Всеволодович
Format: Book
Language:Russian
Published: Томск 2010
Subjects:
диссертации
тонкие пленки
оптические свойства
стекловидные пленки
оксиды кремния
тантал
наноструктуры
производство
контроль качества
Online Access:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
Description
Physical Description:153, [2] с.: a-ил.
Bibliography:Библиогр.: с. 128-135

Similar Items