Оптические свойства наноразмерных стекловидных пленок оксидов кремния и тантала: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. 01.04.04/

Bibliographic Details
Main Author: Литвинова, В. А. Виктория Александровна (Author)
Corporate Author: Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
Other Authors: Смирнов, С. В. Серафим Всеволодович
Format: Book
Language:Russian
Published: Томск 2010
Subjects:
Online Access:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
LEADER 02012nam a2200301 i 4500
001 LibTUSUR0000044664
008 101215s2010 ru_aaa l000 0yrus d
040 |a Библиотека ТУСУР 
100 1 |a Литвинова, В. А.  |q Виктория Александровна  |4 aut 
245 0 0 |a Оптические свойства наноразмерных стекловидных пленок оксидов кремния и тантала:   |b диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. 01.04.04/  |c В. А. Литвинова ; науч. рук. С. В. Смирнов; Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники 
260 |a Томск  |c 2010 
300 |a 153, [2] с.:  |b a-ил. 
504 |a Библиогр.: с. 128-135 
535 2 |a Библиотека ТУСУР  |d https://lib.tusur.ru 
653 0 |a диссертации 
653 0 |a тонкие пленки 
653 0 |a оптические свойства 
653 0 |a стекловидные пленки 
653 0 |a оксиды кремния 
653 0 |a тантал 
653 0 |a наноструктуры 
653 0 |a производство 
653 0 |a контроль качества 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 539.2  |i Л 641  |p 417878  |b сбо 
080 |a 539.216.2:549.514.5-026.61(043.3)  |a 539.216.2:549.221-026.61(043.3) 
700 1 |a Смирнов, С. В.  |q Серафим Всеволодович 
710 2 1 |a Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники 
856 |y Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР  |u https://lib.tusur.ru/irbis-new/i64r_15/cgiirbis_64.exe?Z21ID=&P21DBN=LIB&I21DBN=LIB&S21FMT=fullwebr&C21COM=S&2_S21P02=0&2_S21P03=I=&2_S21STR=539.2/Л 641-870494