Иванов, Р. Д. Р. Д. (1972). Катодный метод создания пленочных элементов микросхем. Энергия.
Chicago-стиль цитированияИванов, Р. Д. Роберт Дмитриевич. Катодный метод создания пленочных элементов микросхем. М.: Энергия, 1972.
MLA-цитированиеИванов, Р. Д. Роберт Дмитриевич. Катодный метод создания пленочных элементов микросхем. Энергия, 1972.
Предупреждение: эти цитирования не могут быть точны на 100%.