Катодный метод создания пленочных элементов микросхем: /
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Book |
| Published: |
М.:
Энергия
1972
|
| Series: | Библиотека радиотехнолога;
вып. 1 |
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Physical Description: | 110, [2] с.: a-ил. |
|---|---|
| Bibliography: | Библиогр.: с. 105-109 |