Молекулярно-лучевая эпитаксия диэлектрических слоев BaF{\dn 2}/CaF{\dn 2}/Si(100) для структур "полупроводник на диэлектрике": автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. 01.04.07/

Bibliographic Details
Main Author: Филимонова, Н. И. Нина Ивановна (Author)
Corporate Author: Новосибирский государственный технический университет
Other Authors: Величко, А. А. Александр Андреевич
Format: Book
Published: Томск 2011
Subjects:
Online Access:https://viewer.rsl.ru/ru/rsl01004847826?page=1&rotate=0&theme=white
Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
LEADER 01753nam a2200241 i 4500
001 LibTUSUR0000048093
008 110811s2011 ru_aa l000 0yrus d
040 |a zaret 
100 1 |a Филимонова, Н. И.  |q Нина Ивановна  |4 aut 
245 0 0 |a Молекулярно-лучевая эпитаксия диэлектрических слоев BaF{\dn 2}/CaF{\dn 2}/Si(100) для структур "полупроводник на диэлектрике":   |b автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. 01.04.07/  |c Н. И. Филимонова ; науч. рук. А. А. Величко; Новосибирский государственный технический университет 
260 |a Томск  |c 2011 
300 |a 22 с.:  |b a-ил. 
504 |a Библиогр.: с. 21-22  
535 2 |a Библиотека ТУСУР  |d https://lib.tusur.ru 
653 0 |a АВТОРЕФЕРАТЫ 
653 0 |a НАНОЭЛЕКТРОНИКА 
653 0 |a ПЛЕНОЧНЫЕ МИКРОСХЕМЫ 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h А  |i Ф 531  |p 425664  |b счз1 
080 |a 621.793.162(043.3) 
700 1 |a Величко, А. А.  |q Александр Андреевич 
710 2 1 |a Новосибирский государственный технический университет 
856 4 |u https://viewer.rsl.ru/ru/rsl01004847826?page=1&rotate=0&theme=white 
856 |y Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР  |u https://lib.tusur.ru/irbis-new/i64r_15/cgiirbis_64.exe?Z21ID=&P21DBN=LIB&I21DBN=LIB&S21FMT=fullwebr&C21COM=S&2_S21P02=0&2_S21P03=I=&2_S21STR=А/Ф 531-362933