Молекулярно-лучевая эпитаксия диэлектрических слоев BaF{\dn 2}/CaF{\dn 2}/Si(100) для структур "полупроводник на диэлектрике": автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. 01.04.07 - Филимонова, Н. И. Нина Ивановна (2011)