Синтез композиционных оксидных покрытий на основе разрядной системы с инжекцией электронов: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. 01.04.04/

Библиографическая информация
Главный автор: Тюньков, А. В. Андрей Владимирович (Автор)
Соавтор: Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
Другие авторы: Окс, Е. М. Ефим Михайлович
Формат: Книга
Публикация: Томск 2011
Предметы:
Online-ссылка:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
LEADER 01877nam a2200253 i 4500
001 LibTUSUR0000048219
008 110905s2011 ru_a l000 0yrus d
040 |a zaret 
100 1 |a Тюньков, А. В.  |q Андрей Владимирович  |4 aut 
245 0 0 |a Синтез композиционных оксидных покрытий на основе разрядной системы с инжекцией электронов:   |b диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. 01.04.04/  |c А. В. Тюньков ; науч. рук. Е. М. Окс; Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники 
260 |a Томск  |c 2011 
300 |a 138 с.:  |b a-ил. 
504 |a Библиогр.: с. 118-135 
535 2 |a Библиотека ТУСУР  |d https://lib.tusur.ru 
653 0 |a ДИССЕРТАЦИИ 
653 0 |a НАНОСТРУКТУРНЫЕ ПОКРЫТИЯ 
653 0 |a ПОВЕРХНОСТНЫЕ СВОЙСТВА 
653 0 |a ИОННО-ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ 
653 0 |a ГАЗОРАЗРЯДНЫЕ НАПЫЛИТЕЛЬНЫЕ УСТРОЙСТВА 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.7  |i Т 984  |p 425937  |b сбо 
080 |a 621.793.184(043.3)  |a 621.794.61:621.357.8(043.3) 
700 1 |a Окс, Е. М.  |q Ефим Михайлович 
710 2 1 |a Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники 
856 |y Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР  |u https://lib.tusur.ru/irbis-new/i64r_15/cgiirbis_64.exe?Z21ID=&P21DBN=LIB&I21DBN=LIB&S21FMT=fullwebr&C21COM=S&2_S21P02=0&2_S21P03=I=&2_S21STR=621.7/Т 984-942666