Оборудование для создания и исследования свойств объектов наноэлектроники: учебное пособие/

Оборудование для создания и исследования свойств объектов наноэлектроники: учебное пособие/

Show other versions (1)

Bibliographic Details
Main Authors:	Данилина, Т. И. Тамара Ивановна (Author), Чистоедова, И. А. Инна Анатольевна (Author)
Corporate Author:	Министерство образования и науки Российской Федерации21 Государственная корпорация "Российская корпорация нанотехнологий"21 Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
Format:	Book
Published:	Томск: В-Спектр 2011
Series:	Образовательная программа переподготовки
Subjects:	УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ КВАНТОВЫЕ НАНОСТРУКТУРЫ НАНОЛИТОГРАФИЯ ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВАЯ ЛИТОГРАФИЯ ИОННО-ЛУЧЕВАЯ ЛИТОГРАФИЯ НАНОИМПРИНТИНГОВАЯ ЛИТОГРАФИЯ FIB-ТЕХНОЛОГИИ
Online Access:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Оборудование для создания и исследования свойств объектов наноэлектроники: учебное пособие/

Оборудование для создания и исследования свойств объектов наноэлектроники: учебное пособие/

by Данилина, Т. И., Чистоедова, И. А.
Published 2010

Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Book