Оборудование для создания и исследования свойств объектов наноэлектроники: учебное пособие/

Библиографическая информация
Главные авторы:	Данилина, Т. И. Тамара Ивановна (Автор), Чистоедова, И. А. Инна Анатольевна (Автор)
Соавтор:	Министерство образования и науки Российской Федерации21 Государственная корпорация "Российская корпорация нанотехнологий"21 Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
Формат:	Книга
Публикация:	Томск: В-Спектр 2011
Серии:	Образовательная программа переподготовки
Предметы:	УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ КВАНТОВЫЕ НАНОСТРУКТУРЫ НАНОЛИТОГРАФИЯ ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВАЯ ЛИТОГРАФИЯ ИОННО-ЛУЧЕВАЯ ЛИТОГРАФИЯ НАНОИМПРИНТИНГОВАЯ ЛИТОГРАФИЯ FIB-ТЕХНОЛОГИИ
Online-ссылка:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Похожие документы